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東南大學(xué)微納系統(tǒng)國(guó)際創(chuàng)新中心無掩膜激光直寫光刻機(jī)采購(二次)公開招標(biāo)公告

項(xiàng)目概況

東南大學(xué)微納系統(tǒng)國(guó)際創(chuàng)新中心無掩膜激光直寫光刻機(jī)采購 招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在南京市建鄴區(qū)新城科技園嘉陵江東街8號(hào)綜合體B3棟16層

一、項(xiàng)目基本情況

項(xiàng)目編號(hào):JSHC-2021090615C6

項(xiàng)目

預(yù)算金額:504.0000000 萬元(人民幣)

采購需求:

東南大學(xué)微納系統(tǒng)國(guó)際創(chuàng)新中心采購無掩膜激光直寫光刻機(jī)一臺(tái)(套),主要技術(shù)要求如下:

1.設(shè)備組成:1、溫控防塵罩;2、高精密透鏡模塊及DMD模塊;3、半導(dǎo)體激光器(Diode Laser);4、工作平臺(tái)裝置;5、定位激光干涉儀;6、主機(jī)電器控制裝置;7、圖形轉(zhuǎn)換軟件及系統(tǒng)操作計(jì)算機(jī);8、大理石或花崗巖機(jī)座及氣浮減震裝置。

2.須具備兩種不同波長(zhǎng)的光源;曝光用光源及波長(zhǎng):(1) 405nm Diode Laser;(2) 375nm UV Diode Laser。

3.直寫速度:在100×100mm的刻寫幅面下,須達(dá)到≤35 min;可進(jìn)行128階灰度曝光;配置高深寬比模塊,透過調(diào)整聚焦深度,以優(yōu)化膜厚較厚的光刻膠側(cè)壁粗造度;配置單元圖形對(duì)準(zhǔn)功能,對(duì)晶圓上的各個(gè)單元圖形進(jìn)行逐一對(duì)準(zhǔn),并對(duì)每個(gè)單元圖形進(jìn)行逐一曝光。

最大直寫面積≥ 200mm x 200mm;配置背向?qū)?zhǔn)功能,背向?qū)?zhǔn)精度≤1000nm。

合同履行期限:詳見采購文件

本項(xiàng)目( 不接受  )聯(lián)合體投標(biāo)。

二、申請(qǐng)人的資格要求:

1.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購法》第二十二條規(guī)定;

2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求:

非專門面向中小企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性單位采購的項(xiàng)目。

3.本項(xiàng)目的特定資格要求:無

三、 (北京時(shí)間,法定節(jié)假日除外)

獲取采購文件

售價(jià):¥600.0 元,本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和

四、提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)

提交投標(biāo)文件截止時(shí)間:2021年12月08日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)

開標(biāo)時(shí)間:2021年12月08日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)

六、

未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購網(wǎng)(tjlongheng.cn)注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相關(guān)說明下載招標(biāo)文件!

項(xiàng)目 聯(lián)系人:李楊  
咨詢電話:010-51957458 
傳真:010-51957412 
手機(jī):18811547188
QQ:1211306049 


備注:欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊(cè)網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費(fèi)后,查看項(xiàng)目業(yè)主,招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍,資質(zhì)要求,招標(biāo)清單,報(bào)名申請(qǐng)表等。為保證您能夠順利投標(biāo),具體要求及購買標(biāo)書操作流程按會(huì)員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn),以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。

來源:中國(guó)電力招標(biāo)采購網(wǎng)?編輯:mof.go
 
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