【中國國際招標(biāo)網(wǎng)】
項(xiàng)目名稱：8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之氧化硅、氮化硅刻蝕機(jī)
招標(biāo)項(xiàng)目編號：0709-244035614007
招標(biāo)范圍：設(shè)備名稱：氧化硅、氮化硅刻蝕機(jī)設(shè)備數(shù)量：3臺(tái)設(shè)備用途：氧化硅、氮化硅刻蝕機(jī)主要用于對8英寸MEMS工藝中氮化硅、氧化硅薄膜的刻蝕加工。
招標(biāo)機(jī)構(gòu)：中國儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司
招標(biāo)人：安徽華鑫微納集成電路有限公司
開標(biāo)時(shí)間：2024-04-25 09:30
公示開始時(shí)間：2024-05-14 13:58
評標(biāo)公示截止時(shí)間：2024-05-15 14:00
中標(biāo)候選人名單：
| 候選人排名 | 投標(biāo)商名稱 | 制造商 | 制造商國別及地區(qū) |
|---|---|---|---|
| 1 | 合肥英仕博精密裝備有限公司 | 合肥英仕博精密裝備有限公司 | 中國 |
| 2 | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 | 中國 |
| 3 | Tokyo Electron Limited | Tokyo Electron Limited | 日本 |
